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技术前沿MEMS技术

发布时间:2023/3/14 22:56:15   
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什么是MEMS技术?

微机电系统(MEMS)是一种技术,其最一般的形式可以定义为使用微加工技术制造的小型化机械和机电元件(即设备和结构)。MEMS技术传感器是低成本、高精度的惯性传感器,可用于各种行业应用。

MEMS或微机电系统是一种基于芯片的技术,其中传感器由一对电容板之间的悬浮质量组成。当传感器倾斜时,这种悬浮质量会产生电势的差异。然后,产生的差值被测量为电容的变化。

MEMS技术的技术特点

①优势

MEMS技术确实有其自身的一些优势。MEMS传感器提供方便的功能,可与所有其他传感器系列一起使用,而不受任何空间限制。此外,MEMS还利用非常紧凑的微型机器组件,这些组件非常小巧,每个MEMS传感器都可以轻松安装到您的手掌中。MEMS传感器具有IP67密封。这是因为传感器需要能够承受-40至+85C的极端温度。大多数使用MEMS传感器的行业都在极端温度下工作。而且,这种密封使传感器能够暂时浸入浅水中,从而可以监控海上和海底的俯仰和滚动应用。其他电解传感器可能具有更高的精度,但通常对温度更敏感。

这些MEMS传感器的另一个优点是抗冲击和振动。MEMS传感器在减震环境中可能不是最持久的,但MEMS倾角计在10-Hz时具有10grms的抗振性,加速度计具有G的抗冲击性。因此,这些传感器不能用于军事应用等高度令人震惊的场景,但它们可以承受工业测量和控制,钻井设备和一些岩土工程监测。

②劣势

尽管MEMS传感技术很有用,但它们确实有一些局限性。通常,MEMS传感器在整个温度范围内具有较大的漂移。对于那些没有温度补偿或加热能力的人来说,这可能是值得

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