来源：金融界网站

来源：中银国际证券

3月30日，上海积塔半导体特色工艺生产线正式投片。积塔半导体特色工艺生产线项目是上海市重大工程，总投资亿元分两期完成，第一期是月产能6万片的8英寸特色工艺产线，投资89亿元，第二期是月产能5万片的12英寸特色工艺产线，投资亿元。该项目于年8月开工建设，年12月设备搬入。

报告要点

目前是8寸线投产，工艺设备仍以进口为主。根据中国国际招标网，上海积塔半导体自年年初以来陆续采购台工艺设备，多数是6-8寸的设备机台，包括3台光刻机，5台涂胶显影设备，8台离子注入机，17台刻蚀机，25台清洗设备，40台热处理设备，59台量测设备，6台PVD，14台CVD，12台CMP，4台干法去胶机。其中，国产设备27台，按数量计算的国产化率为14％，进口品牌主要包括ASML、AMAT、LamResearch、KLA、TEL、ASMInternational、Axcelis。

国产设备及品牌，主要是北方华创的清洗设备、上海微电子的量测设备。各类工艺新设备中，光刻机、涂胶显影设备、离子注入机、刻蚀设备、PVD、CVD、CMP均来自进口品牌；而清洗设备的国产化率为64％，即25台清洗设备中北方华创供货16台；热处理设备的国产化率为9％，其国产品牌包括北方华创供应2台、成都莱普科技供应1台热处理设备；量测设备的国产化率为15％，其国产品牌包括上海微电子装备供应6台、中科飞测供应2台微粒测量设备。

北方华创与上海积塔半导体已达成战略合作。除年4月北方华创与合肥长鑫达成战略合作外，今年1月16日上海积塔半导体与北方华创集团举行战略合作签约仪式，双方将深入进行战略合作，进一步扩大在半导体设备应用领域的合作。随着积塔半导体投资亿元的12英寸线的产能建设也将启动，北方华创有望在8寸线供应清洗设备、热处理设备的基础上，进一步扩大设备供应范围和中标数量。

国产设备有望在多条特色工艺产线取得竞争优势。除上海积塔半导体外，本土特色工艺产线还包括士兰微厦门项目、燕东微北京项目、格科微临港项目、华润微重庆项目、广州粤芯和青岛芯恩等项目，合计总投资额达1,亿元。国产设备经历多年发展后，在刻蚀设备、清洗设备、PVD、热处理、CMP等工艺设备国产化方面取得较大进展，而在离子注入机、量测设备、PECVD等方面也已实现零的突破，相比之下更容易进入制程线宽较大的特色工艺产线。

全球半导体设备需求因疫情而延后，但仍是刚性需求。ASML周一宣布下调年第一季度的前瞻指引，即营业收入预期从31-33亿欧元下调至24-25亿欧元，但一季度无法确认的营收将结转至二季度和三季度。台积电3nm工艺试产也因疫情危机延期4个月，原本计划6月份的试产要延期到10月份。参考大陆地区的长江存储招标重启及新设备恢复进场，以及上海积塔半导体8英寸线如期投产，我们认为半导体设备的全球市场需求只是因疫情而延迟，并不会因此而导致需求消失或萎缩。

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