1.半导体零部件、模组的分类？每个分类国产化的情况？难度的排序？

零部件分类：

模组件：分为EFEM（传送模块）、传送腔体、反应腔体，还有部署设备（气柜、电柜）、清洗组件、冷却组件（CM）。

零部件：

1）金属件：一般包括铝锭（纯铝，用作腔体）、不锈钢（用作骨架）、铝合金为原料制作的产品，目前国产化率最高。

2）非金属件：陶瓷件、石英件、石墨。

3）气柜：主要用世伟洛克的产品；其中的气体管路等配件主要用的SMC、VAT的产品。气柜产品有的是厂家自己制作的，有的是委托下游厂商制作的，例如富士金、VAT、UCT。

4）仪表类：主要是流量计，目前主要用SMC和日本津市的多一些。

5）射频电源：主要用的MKS产品。

6）阀门：主要用的VAT和SMC，VAT的产品是用的最多的，国内也是用这两家多一些。但是应材的产品是自己定制的，不采用现有的模块。

7）泵：常用的就是德国普旭和爱德华，爱德华用的是最多的。

8）管路连接：与气柜连接的管路主要是四家的产品，MKS、VAT、UCT、富士金。

国产化进度：目前不论是国内还是国外设备厂商都是用的上面这些厂商的产品，很少用国内没有认证的零部件产品。除了金属加工件这种常见的产品外，其他的气体管路、气柜、仪表、电源、阀门、泵之类的，都是用的国际大品牌。

难易程度：

1）非金属类产品加工是难度最大的，交期最长可能8~10个月。例如石英件、陶瓷件的加工等，可能都是以国外为主。国内的大和热磁，目前是国内用的最多的。

2）其次是配置类，基本上都是被国外所垄断，包括精度高一点的各种流量计，这些东西是被国外垄断的，交期也非常长，有时还涉及到一些政治因素。

3）第三是气柜模组部分。

4）最后是金属加工的部分。

2.模组和金属加工的生产模式？

模组部分生产模式：其中EFEM模组，国内用的最多的品牌是日本RORZE的；传输模组的部分都是靠设计，通过仿制应材、LAM等产品，之后自己研发一部分，定制产品委外制造；气柜也根据自己的工艺去设计，当然也会参考一些国外的设计，通过委外厂商（VAT、UCT、富士金等）进行定制。

3.现在全球有哪些大的企业，国内的情况又是怎么样？

（1）机加工部分，金属加工这一块基本上都是国内制造的，通过国内一些大的机加工厂，像富创、富士迈、托伦斯、靖江先锋、晶盛机电等，他们本身业务都是以相关的半导体设备零部件机加工为主。这一块不是瓶颈。

（2）流量计、仪表、射频电源、阀门、泵等产品，目前还没有国内厂商进入设备中，都是用的现有的世伟洛克、富士金、SMC等这几家的产品。国内的半导体零部件生产厂商，富士迈、北方华创、沈阳富创、晶盛机电、先导智能等，用的都是从这些品牌采购原物料进行二次组装的动作。

（3）零部件整体的国产化率，估计不会到20%。除了机加工件、一些陶瓷件和石英件的加工之外，其他部分基本上都是这些国际的大品牌占据市场。目前国内替代的只有一款，就是北方华创旗下的七星的流量计，会用在华创自己的设备上。气体厂商都没用七星的流量计，没有被市场认证，所以没有人敢随便用。

4.对比国内厂商，富创、富士迈、靖江先锋、托伦斯、大和热磁等，他们的业务情况？

对于一个金属零部件企业，需要有自己的机加工厂、钣金厂（做烤漆和喷砂）、表面处理厂（清洗、电镀等）。

（1）技术对比：这几家厂商的加工方式差不多，都有自己的机械加工和表面处理技术，富创、富士迈有钣金技术，托伦斯、靖江先锋还有没钣金。机加工这部分除了工程师能力技术外，还和加工设备精度很相关，这直接决定了零部件的精度。目前做得最好的是富士迈，靖江先锋、托伦斯和富创都是从富士迈挖的人，富士迈的设备也都是买的日本、德国的高精度设备，单台都是上千万的价格。

l富士迈是台资企业，在中国台湾的母公司是京鼎精密，产品主要是供应给应材的，精密加工每年出货腔体在多颗，目前年销售额大概有20多亿元。

大和热磁主要做石英件加工，目前国内半导体设备厂商用的比较多的是他们家的。

UCT做气体管路和焊接产品比较多，按照定制的要求对管路进行弯折和不锈钢管的焊接等。

（2）技术差距：国内这几家公司主要区别是加工工艺和精度部分，只要有带密封性质的腔体和管路的部分对工艺是最关键，目前这几家公司在工艺上有点参差不齐。例如要加工一个两米多的腔体，这几家做都没有问题，只是在加工精度上不一定能达到真正的设计要求。富创对标的是富士迈，整合能力比较强；靖江先锋、托伦斯也一样，但是没有钣金厂。

（3）客户分类：大部分都是国内的客户，富创代工了一部分应材的业务。靖江先锋和托伦斯主要服务泛半导体行业，包括光伏和半导体，光伏设备要求没那么高；富创精密集中在半导体领域。

5.机械加工的难度在哪？有什么技术壁垒吗？

（1）机加工难度主要是在精度加工和一些大尺寸加工，受限于加工的设备，尺寸越大，设备厂商可能没办法增加资金投入去进行加工。精度受限于机加工设备，德国和日本的机房精度都很高，所以在精度上是有差异的。要是做应材的订单，基本上国内的一些设备很难做成，良品率非常低。

（2）除了跟机台有关系，跟公司的工程师的技术能力也有关系，设计加工的工艺要反复摸索，要有技术经验。

*不良率就是指加工尺寸精度上不达标，比如表面粗糙度、加工尺寸等，需要达到小数点两位数；还有弧度、表面粗糙度、加工精度这三方面达不到图纸的技术要求。

富士迈的良率基本上都在90%。富创的良率在20~30%，产线有黄单，意味着这个加工件有异常。富创的产品分两部分，一等的做的比较好的部分直接给美国客户了；二等的稍微差一点的可能自己组装，组装之后供给国内客户。靖江先锋跟托伦斯，做了一部分光伏设备的零部件，主要面向国内客户，不会要求那么高，所以比较容易达成要求。

6.表面处理难点在哪？

主要难点就是表面处理，比如做阳极处理镀膜类的工艺，重点

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